国家知识产权局信息数据显现，ASM IP私家控股有限公司请求一项名为“用于反应器体系的激光器对准夹具”的专利，公开号CN 121046801 A，请求日期为2021年5月。专利摘要显现，一种用于反应器体系的激光器对准夹具，能够适用于对准反应器体系的部件以答应将薄膜均匀沉积到衬底上。激光器对准夹具能够包含：盖组件；以及多个激光器和传感器组件。激光器对准夹具能够对准至少：活动操控环、基座，以及反应器体系的侧壁。
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