国家知识产权局信息数据显现，拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司获得一项名为“一种解键合设备”的专利，授权公告号CN223728729U，请求日期为2024年12月。
专利摘要显现，本实用新型公开了一种解键合设备。该解键合设备包含：激光源，供给用于透过载体硅晶圆进行解键合的红外激光光束；以及振镜，用于将所述红外激光传输到所述载体硅晶圆的第一面，并透过所述载体硅晶圆照耀键合层，经过调整激光频率，以使所述振镜按方针扫描速度对所述载体硅晶圆与器材解键合，其间，所述器材经由所述器材键合于所述载体硅晶圆的第二面，而且所述方针扫描速度所对应的下一脉冲发生的激光光斑紧挨上一脉冲发生的激光光斑且彼此不堆叠。经过上述解键合设备，可以对永久键合后的硅晶圆进行无损解键合，然后使得别离后的硅晶圆可以重复使用，利于后续加工，一起还可以提高解永久性键合的功率，且减小解键合设备的整机体积。
天眼查资料显现，拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司，成立于2020年，坐落嘉兴市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1511.4245万人民币。经过天眼查大数据分析，拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司参加招投标项目6次，产业线条，此外企业还具有行政许可5个。
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