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破局“芯”窘境西北地区首条硅光中试线正式通线

阅读量: 1619次 发布时间:2025-11-09 10:16:22

  

破局“芯”窘境西北地区首条硅光中试线正式通线

  11月4日,在2025硬科学技能立异大会光子工业顶峰会议上,陕西光电子先导院总经理杨军红介绍陕西“追光计划”阶段性开展,宣告光电子先导院建造的“8英寸先进硅光集成技能立异渠道”(简称“8英寸硅光渠道”)已正式通线,并发布了一款无源SOI(绝缘衬底上的硅)集成超低损耗氮化硅产品的PDK(工艺规划套件)。

  杨军红表明,作为西北地区首条硅光中试线英寸硅光渠道的正式通线,不只填补了区域硅光芯片中试范畴空白,更成为陕西“追光计划”施行以来的标志性效果,将作为陕西打造千亿级光子工业集群的中心支点,为“追光计划”从蓝图迈向实践注入要害动力。

  自2021年陕西“追光计划”发动以来,全省光子工业已完结跨越式成长——公司数攀升至370多家,工业规划从150亿元跃升至365亿元,开始构建起“资料—芯片—器材—体系”的完好工业链条。2023年晋级发动的“追光计划—跃迁举动”,更以“一核两翼+一园三区”布局清晰开展途径:西安高新区作为中心承载区,集聚光子芯片园、光子制造园等特征载体,而光电子先导院正是这一布局中的“立异策源中枢”。

  “8英寸硅光渠道的通线,完全补全了陕西在硅光芯片中试范畴的短板。”杨军红表明,作为“追光计划”的中心支撑渠道,光电子先导院已累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试渠道,此前6英寸化合物渠道已服务50余家企业,现在硅光渠道的参加,将与西安科学园的先进阿秒激光设备、光子传感园的工业化载体构成联动,为“追光计划”培养千亿级集群供应从基础研究、中试验证到量产落地的全链条支撑。

  数据显现,“追光计划”推动四年来,光电子先导院已处理100余家草创企业“研制问、流片难”问题。此次硅光中试线的启用,更被视为计划向“高质量集群开展”跨进的要害落子——经过中试才能的完善,陕西将进一步招引工业链上下游企业集聚,加快“资料—芯片—使用”的工业闭环构成。

  硅光技能作为AI算力、智能驾驭、量子通讯等前沿范畴的中心支撑,正处于技能打破与使用落地的要害期,但其工业高质量开展长时刻受限于中试资源会集的窘境。杨军红介绍称,全球硅光中试资源多把握在欧美企业手中,国内企业依托国外渠道流片需付出昂扬费用,且面对流片周期长、产能优先供应受限等问题,自建产线则需巨额设备投入,让中小企业和科研团队望而生畏。

  光电子先导院的8英寸硅光渠道,正是破解这一窘境的“硬核计划”。该渠道总投资7.5亿元,于2023年末发动建造。到2025年9月末,已完结悉数场所及硬件设备建造。该渠道引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”,并引入了光刻、刻蚀等60余台(套)要害中心设备,在130nm有源集成硅光主工艺渠道基础上,开发90nm以上先进工艺,已构建起自主可控的先进工艺体系。

  值得一提的是,在会议现场,光电子先导院还正式对外发布了一款无源SOI(绝缘衬底上的硅)集成超低损耗氮化硅产品的PDK(工艺规划套件)。“这是光电子先导院硅光渠道发布的首款PDK,估计将于2026年完结有源产品通线,包括高性能调制器、探测器等中心器材,将加快可使用于人工智能、光通讯、光核算、智能驾驭、低空飞行、医疗健康等范畴的产品迭代进程,将大幅度缩短光电、硅光客户的流片周期和研制本钱。”杨军红表明。

  此次硅光渠道通线,使光电子先导院构成“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”的双中试渠道格式,成为国内少量具有全链条中试才能的立异载体。而支撑这一双渠道高效工作的,正是光电子先导院在国内首先提出的“1+N”柔性工程渠道形式。

  “‘1’即以‘6英寸化合物VCSEL渠道+8英寸硅光渠道’为中心的主工艺渠道,承当资源整合与安稳运转的任务——咱们将80%资源向中小企业敞开中试流片服务,加快产品市场化;20%资源用于支撑前沿立异研制,孵化打破性技能。”杨军红解说,在此基础上,“N”个特征工艺渠道将针对磷化铟探测器、砷化镓射频器材等详尽区分范畴,经过设备同享、技能授权、联合定制研制等方法,下降企业初始投入,完结专项打破。

  这一形式已初见成效。6英寸化合物渠道自2023年启用以来,已发布20余款PDK,为50余家客户供应全流程服务;8英寸硅光渠道虽刚通线,但已与十余家头部企业达到意向协作协议,并招引了多家外地企业集合陕西。深圳瑞识智能科技有限公司董事长浩瀚的感触颇具代表性:“海外代工厂处理不了研制阶段所需的高度定制化需求,但在光电子先导院,排队等候中试的时刻少了、沟通的功率高了,速度比在国外做中试快5倍以上。”

  “从化合物半导体到硅光集成,咱们正以渠道才能跃升支撑新质生产力开展。”杨军红泄漏,下一步将推动异质异构集成渠道建造,构建“化合物半导体+硅光+异质异构集成”三位一体的渠道架构,完结从资料成长、芯片制程、器材封装到体系测验的全链条掩盖,为光通讯、生物传感、人工智能等前沿范畴供应要害支撑,助力陕西成为光子工业高地。

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