国家知识产权局信息数据显现,连云港百利合新材料发展有限公司请求一项名为“一种无机光刻胶硬度梯度动态成形办法及体系”的专利,公开号CN121209219A,请求日期为2025年11月。
专利摘要显现,本发明触及光刻工艺技术领域,公开了一种无机光刻胶硬度梯度动态成形办法及体系,办法有:接纳待加工曝光图画、实时工艺参数数据和方针硬度散布图,输入改善的UNet深度卷积神经网络构建的硬度梯度猜测模型,生成曝光剂量空间散布猜测图;将其映射到含空间光调制器的数控灰度调理曝光体系,施行分区域差异化曝光及多参数协同动态调控;曝光后在线丈量硬度散布,经过二阶差分确认梯度不接连区域并优化;本发明完成了无机光刻胶中安稳、接连且可控的硬度梯度构建,一起保证图形分辨率与加工安稳性。
天眼查资料显现,连云港百利合新材料发展有限公司,成立于2009年,坐落连云港市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3891万人民币。经过天眼查大数据分析,连云港百利合新材料发展有限公司专利信息27条,此外企业还具有行政许可6个。
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