专利摘要显现,本发明公开了一种薄膜铌酸锂电光调制器及其制备办法,其间调制器从下往上顺次包含衬底层、第一高折射率层、低折射率层、金属电极层和第二高折射率层,低折射率层为薄膜铌酸锂层;衬底层、第一高折射率层和低折射率层的宽度持平,光在金属电极层及其下方一切层中构成混合等离激元波导形式,光场局域在低折射率层中,增强非线性相互作用;金属电极层和第二高折射率层的宽度相同且小于衬底层,光在金属电极层和第二高折射率层中构成惯例的等离激元形式,光场散布在金属电极层和第二高折射率层之间的界面;两种形式下的光场异相干与构成耦合杂化等离激元形式,将光场集聚在低折射率层,削减光场在金属电极层中的比重从而下降传达损耗。
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